上海茂竺(上海茂索)以高端技術(shù)產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)相輔并進的快速發(fā)展模式。為半導(dǎo)體、醫(yī)藥及生物芯片等行業(yè)提供廠務(wù)所必需的材料部件(隔膜閥、EP(BA)管道等)以及特殊氣體設(shè)備[例如特氣柜(GASCABINET)、閥門箱(VMB)],化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)(例如CDU、TEE-BOX、SAMPLINGBOX)。
上海茂竺(上海茂索)信奉以客戶為中心的服務(wù)理念,提供設(shè)備安裝及二次配管等一系列高純系統(tǒng)的整體解決方案,采用自動軌道焊接技術(shù)(即自動焊接AutomaticWeld),具體內(nèi)容覆蓋了從方案設(shè)計到安裝、測試等方面。茂竺電子通過控制項目的重復(fù)設(shè)計和建設(shè),達(dá)到花費項目資金和周期的小化。
我們主要服務(wù)于以下各行業(yè):
高亮度發(fā)光二極管外延HB-LED:主要工藝設(shè)備MOCVD光刻機等
有機發(fā)光二極管OLED:PECVD,濺射臺,蒸發(fā)臺OLED臺,OTFT臺,
太陽能電池:主要工藝設(shè)備PECVD,SPUTTER等
硅外延:外延爐
微機電系統(tǒng)MEMS:主要工藝設(shè)備RIE,LPCVD,ICP,等離子清洗機,濺射機等
醫(yī)藥及生物芯片:
平面及等離子顯示器:
化工:
其他材料薄膜制造設(shè)備:APCVD,LPCVD,MBE,HVPE等。
特氣設(shè)備及潔凈部件(特氣鋼瓶柜、閥門箱)主要用于控制高純特殊氣體,又稱電子特氣,包括氫氣H2、氮氣N2、氧氣O2、氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼B(yǎng)CL3、三甲基硼TMB、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。
產(chǎn)品及服務(wù):
上海茂竺(上海茂索)的特氣設(shè)備有特氣柜(GasCabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜),氣體流量控制箱(GasBoxbyMFC),閥門箱(VMB),閥門盤(VMP),氣體偵測器(GasDetector),廢氣處理器(Scrubber)以及化學(xué)品供應(yīng)機臺(CDU、TEE-BOX、SAMPLINGBOX)。
上海茂竺(上海茂索)公司還提供特氣設(shè)備的安裝服務(wù)、特氣系統(tǒng)的二次配管及化學(xué)品供應(yīng)機臺的安裝、化學(xué)品供應(yīng)管道的配管等高潔凈要求的業(yè)務(wù)。
從日本、歐美等發(fā)達(dá)國家進口的電子級材料,如EP級(BA級、AP級)不銹鋼管道(Tube,SS316L,SS304,或稱電子級管道、超高純管道、潔凈管道),隔膜閥(DiaphragmValve),減壓閥(Regulator,或稱調(diào)壓閥),過濾器(filter,0.003μm),高壓金屬軟管,鋼瓶接頭等等超高純特殊氣體系統(tǒng)中必需采用的各類零部件。
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