凈室系統(tǒng)，制造匹配規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過(guò)凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡(jiǎn)單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過(guò)濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間（Mech. Chase），將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤(pán)管（Dry Cooling Coil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，透過(guò)循環(huán)風(fēng)扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動(dòng)凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過(guò)濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。
半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長(zhǎng)凈室ULPAfilter的壽命，但不能無(wú)條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>
凈室是一種以合理的成本開(kāi)發(fā)高質(zhì)量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的，因?yàn)閳?jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)是任何工程學(xué)科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎(chǔ)。凈室是面向工作組的，因?yàn)檐浖怯扇碎_(kāi)發(fā)出來(lái)的，并且理論必須簡(jiǎn)化到實(shí)際應(yīng)用才能引導(dǎo)人的創(chuàng)造力和協(xié)作精神。凈室是針對(duì)經(jīng)濟(jì)實(shí)用軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)樵诂F(xiàn)實(shí)生活中，業(yè)務(wù)和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后，凈室是針對(duì)高質(zhì)量軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)楦哔|(zhì)量改進(jìn)管理，降低風(fēng)險(xiǎn)及成本，滿足用戶需求，提供競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。
標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
一、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國(guó)家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。
二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的工業(yè)廠房設(shè)計(jì)，但不適用于以為控制對(duì)象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過(guò)24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設(shè)計(jì)。
三、條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對(duì)待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。
四、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測(cè)試和運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。
五、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。
六、工業(yè)廠房是由獨(dú)立一棟建筑物（車間），和獨(dú)立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標(biāo)準(zhǔn)是10米，近不得少于5米，以便消驗(yàn)收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。