凈室系統(tǒng)，制造匹配規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過(guò)凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡(jiǎn)單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過(guò)濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間（Mech. Chase），將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，透過(guò)循環(huán)風(fēng)扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動(dòng)凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過(guò)濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長(zhǎng)凈室ULPAfilter的壽命，但不能無(wú)條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。

氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>

多層工業(yè)建筑的廠房絕大多數(shù)見于輕工、電子、儀表、通信、醫(yī)藥等行業(yè)，此類廠房樓層一般不是很高，其照明設(shè)計(jì)與常見的科研實(shí)驗(yàn)樓等相似，多采用熒光燈照明方案。機(jī)械加工、冶金、紡織等行業(yè)的生產(chǎn)廠房一般為單層工業(yè)建筑，并且根據(jù)生產(chǎn)的需要，更多的是多跨度單層工業(yè)廠房，即緊挨著平行布置的多跨度廠房，各跨度視需要可相同或不同。

單層廠房在滿足一定建筑模數(shù)要求的基礎(chǔ)上視工藝需要確定其建筑寬度（跨度）、長(zhǎng)度和高度。廠房的跨度B：一般為6、9、12、15、18、21、24、27、30、36m……。廠房的長(zhǎng)度L：少則幾十米，多則數(shù)百米。廠房的高度H：低的一般5～6m，高的可達(dá)30～40m，甚至更高。廠房的跨度和高度是廠房照明設(shè)計(jì)中考慮的主要因素。

另外，根據(jù)工業(yè)生產(chǎn)連續(xù)性及工段間產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)男枰?，多?shù)工業(yè)廠房?jī)?nèi)設(shè)有吊車，其起重量輕的可為3～5t，大的可達(dá)數(shù)百噸（機(jī)械行業(yè)單臺(tái)吊車起重量可達(dá)800t）。因此，工廠照明通常采用裝在屋架上的燈具來(lái)實(shí)現(xiàn)。