凈室的定義為:將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
空調(diào)系統(tǒng)24小時全天運轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備,對溫濕度變化極為敏感,如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺,些微的溫、濕度變化均會使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差,另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下,故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時監(jiān)控管理之。
工業(yè)廠房,指直接用于生產(chǎn)或為生產(chǎn)配套的各種房屋,包括主要車間、輔助用房及附屬設(shè)施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學(xué)校等單位中的廠房都應(yīng)包括在內(nèi)。工業(yè)廠房除了用于生產(chǎn)的車間,還包括其附屬建筑物。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于:
一、設(shè)計裝配式或部分裝配式的鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)和混合結(jié)構(gòu)廠房;
二、編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計圖集。
注:①設(shè)計鋼結(jié)構(gòu)廠房、受條件限制的改(擴(kuò))建廠房、現(xiàn)澆式鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)廠房、工藝對廠房有特殊要求的廠房或按本標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計在技術(shù)經(jīng)濟(jì)上會產(chǎn)生顯著不合理的廠房,可不執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的某些規(guī)定;②采用新技術(shù)、新結(jié)構(gòu)和新材料的廠房,可不受本標(biāo)準(zhǔn)某些規(guī)定的限制。