優(yōu)點(diǎn)
1 用途廣泛:可適用于工廠、倉庫、辦公樓、體育館、飛機(jī)庫等等。既適合單層大跨度建筑,也可用于建造多層或高層建筑。
2 建筑簡易,施工期短:所有構(gòu)件均在工廠預(yù)制完成,現(xiàn)場只需簡單拼裝,從而大大縮短了施工周期,一座6000平方米的建筑物,只需40天即可基本安裝完成。
3 經(jīng)久耐用,易于維修:通用電腦設(shè)計(jì)而成的鋼結(jié)構(gòu)建筑可以抗拒惡劣氣候,并且只需簡單保養(yǎng)。
4 美觀實(shí)用:鋼結(jié)構(gòu)建筑線條簡潔流暢,具有現(xiàn)代感。彩色墻身板有多種顏色可供選擇,墻體也可采用其它材料,因而更具有靈活性。
5 造價(jià)合理:鋼結(jié)構(gòu)建筑自重輕,減少基礎(chǔ)造價(jià),建造速度快,可早日建成投產(chǎn),綜合經(jīng)濟(jì)效益大大優(yōu)于混凝土結(jié)構(gòu)建筑。
凈室系統(tǒng),制造匹配規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,凈室內(nèi)的制造區(qū)(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經(jīng)過凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間(Mech. Chase),將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,透過循環(huán)風(fēng)扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動(dòng)凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。
空調(diào)系統(tǒng)24小時(shí)全天運(yùn)轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備,對(duì)溫濕度變化極為敏感,如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺(tái),些微的溫、濕度變化均會(huì)使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差,另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下,故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時(shí)監(jiān)控管理之。
半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長凈室ULPAfilter的壽命,但不能無條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>