溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間，相對(duì)濕度則在40%~65%之間；凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間，相對(duì)濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

空調(diào)系統(tǒng)24小時(shí)全天運(yùn)轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對(duì)溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺(tái)，些微的溫、濕度變化均會(huì)使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時(shí)監(jiān)控管理之。

凈室是一種以合理的成本開發(fā)高質(zhì)量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的，因?yàn)閳?jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)是任何工程學(xué)科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎(chǔ)。凈室是面向工作組的，因?yàn)檐浖怯扇碎_發(fā)出來的，并且理論必須簡化到實(shí)際應(yīng)用才能引導(dǎo)人的創(chuàng)造力和協(xié)作精神。凈室是針對(duì)經(jīng)濟(jì)實(shí)用軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)樵诂F(xiàn)實(shí)生活中，業(yè)務(wù)和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后，凈室是針對(duì)高質(zhì)量軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)楦哔|(zhì)量改進(jìn)管理，降低風(fēng)險(xiǎn)及成本，滿足用戶需求，提供競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

一、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。

二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的工業(yè)廠房設(shè)計(jì)，但不適用于以為控制對(duì)象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設(shè)計(jì)。

三、條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對(duì)待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。

四、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測(cè)試和運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。

五、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。

六、工業(yè)廠房是由獨(dú)立一棟建筑物（車間），和獨(dú)立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標(biāo)準(zhǔn)是10米，近不得少于5米，以便消驗(yàn)收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。