凈室，又稱無塵室、潔凈室或清凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過的（如沒有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。

所需的外氣較多由于半導體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。

凈室是一種以合理的成本開發(fā)高質量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的，因為堅實的理論基礎是任何工程學科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎。凈室是面向工作組的，因為軟件是由人開發(fā)出來的，并且理論必須簡化到實際應用才能引導人的創(chuàng)造力和協(xié)作精神。凈室是針對經濟實用軟件的生產的，因為在現(xiàn)實生活中，業(yè)務和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后，凈室是針對高質量軟件的生產的，因為高質量改進管理，降低風險及成本，滿足用戶需求，提供競爭優(yōu)勢。

工業(yè)廠房，指直接用于生產或為生產配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業(yè)廠房除了用于生產的車間，還包括其附屬建筑物。