除了凈化技術(shù),電子廠凈化車間還需進(jìn)行空氣流動管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制??諝饬髁靠刂瓶梢源_保車間內(nèi)的空氣量充足,滿足生產(chǎn)所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域,有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內(nèi)的氣壓差,防止外界的空氣進(jìn)入凈化區(qū)域??諝饬鲃庸芾淼暮侠響?yīng)用,可以保持車間內(nèi)空氣的潔凈狀況。
電子凈化車間一般要求潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(小于3.5個),1000級(小于35個),10000級(小于350個),100000級(小于3500個)。
印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房:6.5級、24±2℃、65%±5%。
鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū):6級、23℃;露點(diǎn)(DP)-30℃;組裝、測試潔凈室(區(qū)):7級、23±2℃、≈20%。
等離子顯示器(PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房
涂屏間:5.5級、25±2℃,50%±10%。
其他生產(chǎn)間:6.5~8級、20~26℃、55%±10%。
凈化工程包括:亂流式、亂流式、復(fù)合式。
1、亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
2、層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線型,空氣由過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。
3、復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。