噪音控制是其中的一項重要工作。電子生產(chǎn)過程中的噪音可能會對產(chǎn)品質(zhì)量和員工健康產(chǎn)生不良影響,因此需要采取措施進行噪音防護。此外,車間的照明、地面材料等也需要考慮,以提供良好的工作環(huán)境。
各類產(chǎn)品的品種不同和生產(chǎn)工藝不同,所要求的空氣潔凈度等級也不相同,因此各種電子產(chǎn)品用潔凈廠房設(shè)計時,生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。由于各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝都各不相同,所以對于空氣潔凈度等級、控制粒徑均列出一定的范圍.
電子工廠凈化廠房特點
>電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛
IC特征尺寸0.05u m,12" ~16" ,64G
TFT第六代產(chǎn)品
對化學污染物的嚴格要求
大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房
投資大、能量消耗大
凈化工程包括:亂流式、亂流式、復(fù)合式。
1、亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
2、層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。
3、復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。