激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。

氣體激光器的特點，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也須進行干燥處理，防止污染混合氣。