供應Aerotech高精密轉臺
ABRS超轉臺
ABRS氣浮軸承運動轉臺擁有一個低矮的外形輪廓,并且能夠提供角度定位精度,的速度穩(wěn)定性以及極小的運動誤差。ABRS轉臺的設計應用于硅片檢測,測量,激光衍射系統(tǒng),光學檢測和制造以及納米制造技術。
特點:
1.無刷無槽力矩電機直接驅動
2.的速度穩(wěn)定性(無齒槽效應)
3.的運動性能,誤差小,無抖動
4.直連式圓光柵反饋
5.扁平結構設計
6.氣浮軸承,無機械接觸
臺面直徑:128~278mm
反饋分辨率:0.036~0.18 arc sec
雙向重復定位精度 lt;1arc sec
定位精度: 2 arc sec
異步軸跳: 20nm
異步徑跳: 20nm
ALAR直驅旋轉平臺
1.5種不同的孔徑尺寸:100mm,150mm,200mm,250mm,325mm
2.持續(xù)或有限的行程
3.300-1000lb的高軸向負載能力
4.寬大的軸承能提供較高的有效負載和瞬間負載能力
5.的精度和重復定位精度
6.抖動和跳動小
7.無接頭電機提供平滑運動
8.無回差效應
9.精度不隨齒輪的磨損而改變
10.每分鐘45-300轉的持續(xù)轉速
11.有效負載必須在旋轉中心的應用的選擇,AZ滾動萬向架應用的重要選擇
12.10-6torr真空環(huán)境選項可
孔徑325mm
精度3.9arcsec
負載6463N
ALAR型號:
ALAR-34E-A010
ALAR-34E-A011
ALAR-34E-A012
ALAR-34E-A013
ALAR-34E-A014
ALAR-34E-A015
ARMS超模擬仿真轉臺
1.為超運動而設計。
2.無刷力矩電機直接驅動,可選更高速度和力矩電機。
3.突出的速度穩(wěn)定性。
4.的運動性能,誤差小,無抖動
5.有效載荷達230 kg
6.預裝有集流環(huán)
臺面直徑:146~260mm
反饋分辨率:0.02~4 arc sec
雙向重復定位精度 0.5 arc sec
定位精度 2.5 arc sec
速度波動率 0.0001%
ADR系列轉臺
ADR系列直接驅動轉臺提供的角度定位和速度控制。應用范圍包括高速激光加工和硅片檢測。
特點:
1.無刷力矩電機直接驅動
2.無齒槽設計提供的速度穩(wěn)定性
3.的運動性能,誤差小,無抖動
4.直連式圓光柵反饋
5.機械軸承支撐
6.載荷可達150kg
臺面直徑:57~240mm
反饋分辨率:0.036~13 arc sec
雙向重復定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
軸跳: 0.5um
徑跳: 1um
ADR-34E-B042
ADR-34E-B043
ADR-34E-B044
ADR-34E-B045
ABRT超轉臺
X射線衍射系統(tǒng),光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計
誤差小,無抖動
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm