電子廠凈化車間應(yīng)該如何采取防靜電措施呢?1.良好的接地系統(tǒng)
為了減少或防止靜電積累的機(jī)會(huì),并為的靜電放電路徑奠定基礎(chǔ),有必要在電子廠的凈化車間建立良好的靜電接地系統(tǒng)。靜電接地是指具有靜電的物體或可能產(chǎn)生靜電的物體(非絕緣體)與大地之間通過(guò)電導(dǎo)體形成電路,從而使其與大地處于同一電位。其目的是加速靜電的流動(dòng)和泄漏,使帶電物質(zhì)的靜電荷能夠有效而平穩(wěn)地釋放出來(lái),避免靜電積聚。
2.環(huán)境控制
靜電的產(chǎn)生和大小與環(huán)境濕度和空氣中的離子濃度密切相關(guān)。靜電勢(shì)與濕度成反比。同時(shí),與普通場(chǎng)合相比,在空氣較純凈的地方(如電子廠的凈化車間),空氣中的離子濃度較低,更容易產(chǎn)生靜電。同一動(dòng)作在不同濕度下產(chǎn)生的靜電電壓可以相差一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。然而,值得注意的是濕度越高越好。濕度越高,設(shè)備上就越容易結(jié)露。因此,電子廠凈化車間的濕度應(yīng)控制在合理的范圍內(nèi),如30% ~ 75%。
3.靜電監(jiān)控
盡管高濕度可以將產(chǎn)生的靜電降低到人體無(wú)法觸摸和感知的程度,但它仍然足以損壞敏感部件。正確的概念是高濕度可以抑制靜電的產(chǎn)生,而低濕度則相反。因此,鑒于某些產(chǎn)品組件對(duì)靜電控制的嚴(yán)格要求,電子廠凈化車間除了采取傳統(tǒng)的靜電防護(hù)措施外,還應(yīng)監(jiān)控和記錄靜電的產(chǎn)生。根據(jù)實(shí)際情況,可以采用防靜電門禁系統(tǒng)和靜電在線實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)對(duì)靜電進(jìn)行有效的監(jiān)控和記錄。靜電一般來(lái)說(shuō)是“難以看見(jiàn)和感覺(jué)到的”,但它幾乎無(wú)處不在,無(wú)時(shí)不在。因此,電子廠凈化車間的靜電防護(hù)是一項(xiàng)綜合性的系統(tǒng)工程。原則上,靜電防護(hù)應(yīng)從兩個(gè)方面進(jìn)行:控制靜電的產(chǎn)生和控制靜電的消散。控制靜電的產(chǎn)生主要是為了控制工藝過(guò)程和工藝過(guò)程中材料的選擇,而控制靜電的消散主要是為了快速、地釋放和中和靜電。
防靜電車間無(wú)塵裝修對(duì)于現(xiàn)代工業(yè),尤其是電子工業(yè)領(lǐng)域的工廠廠房實(shí)驗(yàn)室建設(shè)起著重要作用。據(jù)報(bào)道,日本曾統(tǒng)計(jì),不合格的電子器件中有45%是靜電放電危害造成。在電子工業(yè)領(lǐng)域,全球每年因靜電造成的損失高達(dá)百億。防靜電車間無(wú)塵級(jí)別是多少?一、靜電對(duì)產(chǎn)品的損傷
(一)靜電損傷的兩種失效形式
1)硬損傷:又稱“突發(fā)性完全失效”“一次性損壞”約占10%。表現(xiàn)為器件電參數(shù)突然劣化,失去原有功能。主要原因是靜電放電造成過(guò)壓使得介質(zhì)被擊穿,或過(guò)流使得內(nèi)部電路金屬導(dǎo)線熔斷、硅片局部融化等。硬損傷可通過(guò)常規(guī)的性能測(cè)試手段及時(shí)發(fā)現(xiàn),相對(duì)軟失效而言危害要小得多。
2)軟損傷:又稱“潛在性緩慢失效”“多次損傷累積后失效”約占90%。受到軟損傷的器件,雖然當(dāng)時(shí)各類電參數(shù)仍合格,然而其使用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統(tǒng),可靠性變差,可能會(huì)在后續(xù)過(guò)程中繼續(xù)遭受ESD軟損傷或其它過(guò)應(yīng)力損傷積累而過(guò)早地失效。由于軟損傷是潛在的,運(yùn)用目前的技術(shù)還很難證明或檢測(cè)出來(lái),特別是器件被裝入整機(jī)產(chǎn)品之后,因此具有更大的危害性。
凈化車間施工防靜電要怎么進(jìn)行:過(guò)去,對(duì)靜電影響的意識(shí)不太明顯,因此不乏出現(xiàn)凈化車間施工中因靜電造成的不同嚴(yán)重程度的危害。其實(shí),當(dāng)凈化車間靜電的累積達(dá)到一定程度時(shí),對(duì)凈化工程質(zhì)量、凈化效果、設(shè)備等帶來(lái)很大影響,嚴(yán)重的會(huì)出現(xiàn)爆炸。那么要從凈化車間施工哪些角度入手,以便做好防靜電措施呢?凈化車間施工的濕度因根據(jù)地域的不同,來(lái)設(shè)置符合潔凈區(qū)標(biāo)準(zhǔn)的屬性值,并維持在恒定狀態(tài),來(lái)防止靜電的產(chǎn)生。
凈化車間施工的地面材料應(yīng)具防靜電特性,可控制因人員走動(dòng)產(chǎn)生的靜電。
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凈化車間施工時(shí),半導(dǎo)體的設(shè)備或零件應(yīng)存放在防靜電的容器中,這樣可以有效防止靜電的產(chǎn)生。
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凈化車間施工中可使用防靜電設(shè)備,如離子頭、離子棒等。
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半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料容器與塑料袋之中,其一般均會(huì)具有良好導(dǎo)電性能,可有效防止凈化車間之中靜電的產(chǎn)生。
靜電的產(chǎn)生在工業(yè)生產(chǎn)中是不可避免的,靜電放電(ESD)造成的危害:
引起電子設(shè)備的故障,造成電磁干擾。擊穿集成電路和精密的電子元件,吸附灰塵,造成集成電路和半導(dǎo)體元件的污染,降低生產(chǎn)成品率。高壓靜電放電造成電擊,危及人身。在易燃易爆品或粉塵、油霧的生產(chǎn)場(chǎng)所極易引起爆炸和火災(zāi)等。
完善有效的防靜電系統(tǒng)工程要依照不同企業(yè)和不同作業(yè)對(duì)象的實(shí)際情況,制定相應(yīng)的對(duì)策和相關(guān)防靜電產(chǎn)品的使用。防靜電措施應(yīng)是系統(tǒng)的、的,否則,可能會(huì)事倍功半,甚至造成破壞性的反作用。