在整個(gè)集成電子無(wú)塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說(shuō)是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無(wú)塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無(wú)塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無(wú)塵車間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o(wú)塵車間的廢品問題之一。

在決定無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)之前，必須仔細(xì)考慮工廠的工作性質(zhì)和氣流條件。在粉塵排放量較大的無(wú)塵車間內(nèi)，不要使用地面送風(fēng)，以免進(jìn)入其他需要清潔的工作場(chǎng)所。 無(wú)塵車間必須防止外界空氣進(jìn)入室內(nèi)，室內(nèi)必須保持正壓才能達(dá)到目的。為了獲得必要的室內(nèi)壓力，必須添加適當(dāng)?shù)男迈r空氣。

在平時(shí)，工作人員除了需要定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)當(dāng)定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。同時(shí)，在每次進(jìn)入無(wú)塵車間之前，都應(yīng)該對(duì)手進(jìn)行徹底的清潔。平時(shí)看起來(lái)挺干凈的手，其實(shí)也是一大污染源，能夠?qū)⑽廴疚飶囊惶巶鞯搅硪惶?。在清洗的時(shí)候，尤其應(yīng)該注意指甲、指甲根部和手上的傷處。

首先，要選擇符合自身需求的無(wú)塵車間地面材料。常見的無(wú)塵車間地面，分為涂布型地面、粘貼性地面、水磨石地面、金屬隔柵通風(fēng)地面等。涂布型無(wú)塵車間地面，按照材料的不同，又分為聚氨酯涂料、環(huán)氧樹脂和聚酯樹脂砂漿。這種無(wú)塵車間地面，附著力強(qiáng)，易施工，彈性好，耐水、耐腐蝕。