潔凈車間，亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。

人是污染源的發(fā)源地：靜坐時，人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?！?.5μm);

每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。

半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測試，作業(yè)人員占80% 。

十萬級GMP潔凈車間對不同的對象，有不同的玷污物控制要求。

計有：

⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)

⑵空氣中懸浮分子玷污物

⑶病毒

⑷微振

⑸靜電

⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì)：高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學(xué)品等的有關(guān)雜質(zhì)。

無塵潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室，潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。