潔凈車間，亦稱潔凈室、無(wú)塵車間、無(wú)塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒(méi)有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。

人是污染源的發(fā)源地：靜坐時(shí)，人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子(粒≥0.5μm);

每天脫落6～13克表皮細(xì)胞，一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。

半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試，作業(yè)人員占80% 。

十萬(wàn)級(jí)GMP潔凈車間對(duì)不同的對(duì)象，有不同的玷污物控制要求。

計(jì)有：

⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)

⑵空氣中懸浮分子玷污物

⑶病毒

⑷微振

⑸靜電

⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì)：高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學(xué)品等的有關(guān)雜質(zhì)。

無(wú)塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。