一般以工業(yè)鋁材(不銹鋼方通、噴塑方通)做框架,采用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU送風(fēng),四周采用防靜電垂簾,頂部鋪蓋密縫盲板,形成一個(gè)密縫區(qū),內(nèi)部?jī)艋?jí)別可達(dá)100---10萬(wàn)級(jí);特別適用于車間內(nèi)局部對(duì)潔凈度要求高的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高度產(chǎn)品組裝區(qū)
無(wú)塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。
也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
結(jié)構(gòu)材料
1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門,窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.地面采用環(huán)氧自流平或高級(jí)耐磨塑料潔凈地板。
3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。