潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗潔凈室質(zhì)量的核心標準,該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準,一些知名凈化工程公司,在通行標準之外,還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標,凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠超國際品牌。。
玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源,經(jīng)測試,作業(yè)人員占80% 。
十萬級GMP潔凈車間對不同的對象,有不同的玷污物控制要求。
計有:
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì):高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學(xué)品等的有關(guān)雜質(zhì)。
無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。