一般10萬級凈化車間工程要求用石膏板時必須用防水石膏板，而對于生物凈化車間由于經(jīng)常用水擦洗和用液沖洗，即使防水石膏板也要受潮變形，不耐沖洗，所以規(guī)定生物凈化車間不應(yīng)采用石膏板作罩面材料。另外十萬級凈化車間工程的隔墻一般彩用50mm防火巖棉彩鋼板，而頂板建議采用玻鎂板，當(dāng)然也會用紙蜂窩彩鋼板。隔間、吊頂都需要用彩鋼板，通常都需要用防火巖棉莢芯彩鋼板。

無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（） → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。

重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

技術(shù)參數(shù)

換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；

萬級15－25次/小時；

千級50－52次/小時;

百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；

壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa；

溫度:冬季>16℃±2℃；夏季 新風(fēng)補充量：總送風(fēng)量的20%－30%；