0萬級凈化車間要求使用的木材的含水率不應(yīng)大于16%,并且不得外露使用。由于凈化車間換氣次數(shù)大,相對濕度低,如大量使用木材,易干裂、變形、松動、產(chǎn)生灰塵等,即使用也要局部使用,并且一定要做好防腐防潮處理。
一般以工業(yè)鋁材(不銹鋼方通、噴塑方通)做框架,采用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU送風(fēng),四周采用防靜電垂簾,頂部鋪蓋密縫盲板,形成一個(gè)密縫區(qū),內(nèi)部凈化級別可達(dá)100---10萬級;特別適用于車間內(nèi)局部對潔凈度要求高的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高度產(chǎn)品組裝區(qū)
無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。
過濾器的分類
按過濾器的性能(效率、阻力、容塵量)來劃分,通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞、(HEPA)和超(ULPA)六類過濾器。
我國國家標(biāo)準(zhǔn)《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下:
國家標(biāo)準(zhǔn)《空氣過濾器》GB13554-92中規(guī)定將過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超過濾器(或稱為0.1μm過濾器或超低透過率過濾器)。