一般10萬級(jí)凈化車間工程要求用石膏板時(shí)必須用防水石膏板，而對(duì)于生物凈化車間由于經(jīng)常用水擦洗和用液沖洗，即使防水石膏板也要受潮變形，不耐沖洗，所以規(guī)定生物凈化車間不應(yīng)采用石膏板作罩面材料。另外十萬級(jí)凈化車間工程的隔墻一般彩用50mm防火巖棉彩鋼板，而頂板建議采用玻鎂板，當(dāng)然也會(huì)用紙蜂窩彩鋼板。隔間、吊頂都需要用彩鋼板，通常都需要用防火巖棉莢芯彩鋼板。

無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無塵潔凈房間。

無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的凈化設(shè)備之一，它可以限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無塵潔凈區(qū)域，達(dá)到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。