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天津中環(huán)電爐股份有限公司

主營(yíng):天津中環(huán)電爐研發(fā),天津高溫箱式電爐制造,天津電爐設(shè)計(jì)

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浙江高溫箱式電爐,浙江高溫管式電爐廠家價(jià)格

2022-02-04 08:24:01  731次瀏覽 次瀏覽
價(jià) 格:面議

產(chǎn)品應(yīng)用:

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品組成:

PECVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開(kāi)啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配置管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。

3.預(yù)加熱開(kāi)啟式管式電爐

4.等離子射頻電源

5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)

產(chǎn)品特點(diǎn):

生長(zhǎng)溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡(jiǎn)單。

天津中環(huán)電爐股份有限公司

聯(lián)系人:黃女士

電話(huà):022-26980130

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