無油螺桿真空泵-變容真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種：

⑴往復真空泵：是利用泵腔內活塞做往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵（隔膜式真空泵也是一種往復式真空泵）。

⑵旋轉真空泵：是利用泵腔內轉子做旋轉運動，將氣體吸入，壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種型式：

①油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故部分又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。

②液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積，介質為水時也叫水環(huán)真空泵。

無油螺桿真空泵-③羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。

④螺桿真空泵：利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內各大制藥和化工企業(yè)得到廣泛應用。

⑤爪式真空泵：爪式真空泵原理類似與羅茨，利用兩個爪型轉子與泵腔形成抽氣容積，旋轉過程中轉子可自動開閉。

⑥渦旋真空泵：渦旋真空泵是由渦旋壓縮機演化而來的一種無油真空泵。

其中螺桿真空泵、爪式真空泵以及渦旋真空泵等又可以稱為干式真空泵，可以實現(xiàn)不用油類密封。

無油螺桿真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應國內的各類工況環(huán)境，實際應用實現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業(yè)。