干式真空泵-伴隨著真空技術(shù)的發(fā)展,真空測量技術(shù)也從粗真空走向超高真空領(lǐng)域。螺桿真空泵廠家珂勒曦梳理了真空測量技術(shù)幾個世紀(jì)以來的發(fā)展過程,列出了幾個重大發(fā)展節(jié)點,可以讓大家對真空測量技術(shù)的發(fā)展有更加直觀簡明的認(rèn)識。
自1643年意大利物理學(xué)家托里拆利進(jìn)行大氣壓力實驗以來,先后出現(xiàn)許多種真空計。早出現(xiàn)的是U形管真空計,它只能用來測量粗真空和低真空。
1874年,麥克勞發(fā)明的壓縮式真空計,解決了低真空和高真空的壓力的測量,但在當(dāng)時不能進(jìn)行連續(xù)測量。
1906年,皮拉尼發(fā)明電阻式真空計,解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測量問題。
1916年,貝克利于發(fā)明電離真空計,這在當(dāng)時不僅解決了10-1~10-5帕的高真空測量,而且促進(jìn)了油擴(kuò)散泵等真空設(shè)備的發(fā)展和應(yīng)用。
1937年,潘寧發(fā)明冷陰極電離真空計,適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量,在真空冶金和機(jī)械工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。
1950年,貝阿德和阿爾伯特發(fā)明BA式電離真空計,解決了10-8帕的超高真空測量問題,從而使真空測量獲得了突破,并推動了超高真空技術(shù)的發(fā)展;而與此有關(guān)的表面物理、核能、航天和大型集成電路等科學(xué)技術(shù)也得到了迅速發(fā)展。
1960年以來,相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實現(xiàn)10-11帕左右的超高真空測量。
此后,真空測量技術(shù)領(lǐng)域在新原理方面沒有出現(xiàn)明顯突破性的進(jìn)展,1973年提出的管型倍增器真空計,也只是預(yù)計可測至10-14Pa真空,較多的是在原有基本清晰的原理思路上的改進(jìn)與補(bǔ)充,處于一個相對穩(wěn)定的時期。但技術(shù)的發(fā)展不會停止,相信新成果仍將會不斷涌現(xiàn),將真空科學(xué)技術(shù)推向新的高峰。
干式真空泵-珂勒曦螺桿真空泵,單極突破0.1pa極限真空泵,可長時間運(yùn)行,并且針對國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化,更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境,實際應(yīng)用實現(xiàn)更低故障率,更低能耗,更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風(fēng)洞實驗和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。