實(shí)驗(yàn)室布局按照要求合理地劃分成清潔區(qū)、半污染區(qū)和污染區(qū),采用人與物分別設(shè)置專用通道,設(shè)置必要的緩沖間,采用一次隔離和二次隔離等措施,能有效的避免交叉污染,從根本上防止危險(xiǎn)性微生物的擴(kuò)散;實(shí)驗(yàn)室裝修采用可靠的材料,合理的施工措施,保證潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室始終處于相對(duì)密封的環(huán)境,防止微生物的外逸,易于實(shí)驗(yàn)室的清潔,同時(shí)避免外部對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的破壞。
這比用紊流來(lái)描述亂流潔凈室更確切、更。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個(gè)過(guò)濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
因此,必須將風(fēng)速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因?yàn)轱L(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時(shí)換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩?,因此不適合用來(lái)表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍(10到100倍)。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。