空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng):是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行的關(guān)鍵。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室內(nèi)操作對(duì)象是危險(xiǎn)性的微生物,對(duì)人體、動(dòng)植物或環(huán)境具有危害,必須通過(guò)采用合理的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng),保持潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的相對(duì)負(fù)壓環(huán)境無(wú)論何時(shí)都不被破壞,以保證實(shí)驗(yàn)室內(nèi)危險(xiǎn)性微生物不能向外部環(huán)境中擴(kuò)散。
標(biāo)準(zhǔn)化:整體潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室方案是由我公司負(fù)責(zé)組織設(shè)計(jì)和施工,所有的方案設(shè)計(jì)、設(shè)備和材料的采購(gòu)、施工的項(xiàng)目管理、質(zhì)量監(jiān)督服務(wù)都是由公司的項(xiàng)目設(shè)計(jì)和項(xiàng)目管理人員提供,而且作為整體潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)方案,我們希望達(dá)到方案的標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì),采用一致的設(shè)計(jì)思想理念,做到風(fēng)格和質(zhì)量統(tǒng)一。
凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。