空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng):是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行的關(guān)鍵。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室內(nèi)操作對(duì)象是危險(xiǎn)性的微生物,對(duì)人體、動(dòng)植物或環(huán)境具有危害,必須通過(guò)采用合理的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng),保持潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的相對(duì)負(fù)壓環(huán)境無(wú)論何時(shí)都不被破壞,以保證實(shí)驗(yàn)室內(nèi)危險(xiǎn)性微生物不能向外部環(huán)境中擴(kuò)散。
培訓(xùn)方案:由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室中的實(shí)驗(yàn)人員通常都是醫(yī)學(xué)專(zhuān)家,對(duì)于實(shí)驗(yàn)室整個(gè)系統(tǒng)原理不一定十分了解,通過(guò)培訓(xùn)方案,讓所有實(shí)驗(yàn)室工作人員了解整個(gè)系統(tǒng)的特點(diǎn),掌握其運(yùn)行規(guī)律,可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)隱患,并及時(shí)做出相應(yīng)的應(yīng)急處置,控制住事態(tài)的進(jìn)一步惡化,對(duì)減輕后續(xù)維修工作的難度是有很大幫助的。
以前稱(chēng)這類(lèi)潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱(chēng)均說(shuō)明了其氣流的狀況:氣流以一個(gè)方向流動(dòng)(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過(guò)整個(gè)空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^(guò)濾器向室內(nèi)送風(fēng)。
相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。