拋光液使用方法:包括棘輪扳手、開口扳手,批咀、套筒扳手,六角扳手,螺絲刀等,鉛錫合金、鋅合金等金屬產(chǎn)品經(jīng)過研磨以后,再使用拋光劑配合振動研磨光飾機,滾桶式研磨光式機進行拋光;1拋光劑投放量為(根據(jù)不同產(chǎn)品的大小,光飾機的大小和各公司的產(chǎn)品光亮度要求進行適當配置),2:拋光時間:根據(jù)產(chǎn)品的狀態(tài)來定。3、拋光完成后用清水清洗一次并且烘干即可。
依據(jù)機械加工原理、半導體材料工程學、物力化學多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學、半導體化學基礎(chǔ)理論等,對硅單晶片化學機械拋光(CMP)機理、動力學控制過程和影響因素研究標明,化學機械拋光是一個復雜的多相反應(yīng),它存在著兩個動力學過程:
(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進行氧化還原的動力學過程。這是化學反應(yīng)的主體。
(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來的動力學過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。
拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類。
拋光時,高速旋轉(zhuǎn)的拋光輪(圓周速度在20米/秒以上)壓向工件,使磨料對工件表面產(chǎn)生滾壓和微量切削,從而獲得光亮的加工表面,表面粗糙度一般可達Ra0.63~0.01微米;當采用非油脂性的消光拋光劑時,可對光亮表面消光以改善外觀。 大批量生產(chǎn)軸承鋼球時,常采用滾筒拋光的方法。