異物分析是通過(guò)對(duì)產(chǎn)品中出現(xiàn)的異物雜質(zhì)或未知物進(jìn)行成分分析，借此尋找和追蹤異物產(chǎn)生的原因和來(lái)源并進(jìn)而避免異物的產(chǎn)生。

現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)異物分析測(cè)試涉及三個(gè)方面。

一是表面觀察，主要用光學(xué)顯微鏡(OM）和電子顯微鏡(SEM)等；

二是異物的大多數(shù)有機(jī)物結(jié)構(gòu)和部分無(wú)機(jī)結(jié)構(gòu)分析，主要用傅里葉變換紅外光譜儀 (FTIR)；

三是異物或材料表面的元素成分分析，主要用電子探針X射線微區(qū)分析(EPMA)、掃描電子顯微鏡/能譜儀(SEM/EDS)和X射線光電子能譜分析(XPS)等。