無塵無菌車間是車間既能達到無塵效果,又能達到無菌效果的一種新有名詞。它是污染控制的源頭。在工廠里,沒有無塵室,污染敏感度高的零件不可能批量生產(chǎn)。無塵無菌車間被定義為具備空氣過濾、優(yōu)化、構(gòu)造材料和組裝的房間,其中特定的規(guī)定操作程序是控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到其規(guī)定的標準。
不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵車間。
無菌潔凈車間的內(nèi)部裝修要求房間圍護結(jié)構(gòu)的空氣密封性好,房內(nèi)無衛(wèi)生死角,裝修材料表面光潔但不反光、耐壓力而不起塵、易于清潔、不易發(fā)生霉變和長菌、能夠適應(yīng)各種劑和氣體熏蒸的腐蝕和紫外線照射。
無塵無菌車間內(nèi)空氣的流動有兩種情況:一種是層流的(即室內(nèi)一切懸浮粒子都保持在層流層中運動);另一種是非層流的(即室內(nèi)空氣的流動是紊流的)。裝有一般空調(diào)系統(tǒng)的潔凈室,室內(nèi)空氣的流動屬于非層流(紊流),既可使空氣中夾帶的混懸粒子迅速混合,也可使室內(nèi)靜止的微粒重新飛揚,部分空氣還可出現(xiàn)停滯狀態(tài)。