在無菌車間中,使空間內(nèi)達(dá)到無菌要求,就是室內(nèi)環(huán)境控制的重點(diǎn)??刂莆⑸锏纳L、殺滅或去除微生物的方法通常有兩種,一種為化學(xué)類,另一種為物理類。其中,化學(xué)方法有化學(xué)劑、氣化雙氧水、臭氧和環(huán)氧乙烷等;物理方法有濕熱或干熱、輻射和過濾等。
無塵無菌車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。
不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵車間。
無塵無菌車間一般是在微生物實(shí)驗(yàn)室內(nèi)專辟一個小房間??梢杂冒宀暮筒AЫㄔ臁C娣e不宜過大,約4 ~5 平方米即可,高2.5 米左右。無菌室外要設(shè)一個緩沖間,緩沖間的門和無菌室的門不要朝向同一方向,以免氣流帶進(jìn)雜菌。無塵無菌車間和緩沖間都必須密閉。室內(nèi)裝備的換氣設(shè)備必須有空氣過濾裝置。