全球半導(dǎo)體行業(yè)穩(wěn)定向好,中國(guó)市場(chǎng)如火如荼也帶動(dòng)了整個(gè)潔凈室產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。綜合來(lái)看,三因素決定我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展:
1)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體銷售占比和增速遠(yuǎn)高于全球平均水平,半導(dǎo)體市場(chǎng)消費(fèi)基數(shù)維持高位。
2)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備支出占比小增速快,設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)空間大。
3)半導(dǎo)體貿(mào)易逆差持續(xù)維持1,600億美元高位,“進(jìn)口替代”大勢(shì)所趨。
1. 亂流型:空氣從空調(diào)箱通過(guò)風(fēng)道和潔凈室內(nèi)的空氣濾清器進(jìn)入潔凈室，再?gòu)臐崈羰覂蓚?cè)的隔斷墻板或高架地面回風(fēng)。氣流是非線性的，存在不規(guī)則的湍流或渦流。適用于1000-100000級(jí)潔凈室。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)連接成本低，潔凈室擴(kuò)展簡(jiǎn)單。在一些特殊的使用場(chǎng)所，可采用無(wú)塵操作平臺(tái)來(lái)提高潔凈室的檔次。
缺點(diǎn):室內(nèi)空間內(nèi)亂流形成的粉塵顆粒不易排出，容易污染生產(chǎn)產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)暫停和重新，將需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔。
復(fù)合型:復(fù)合型是將紊流型與層流型復(fù)合或結(jié)合，提供一定的超潔凈空氣。
(1)隧道清潔:采用過(guò)濾器或ULPA過(guò)濾器，覆蓋工藝區(qū)域或作業(yè)區(qū)域，將清潔度提升至10級(jí)以上，節(jié)省安裝成本。這種類型需要將操作者的操作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器維修隔離開來(lái)，以防止在機(jī)器維修過(guò)程中影響操作和質(zhì)量。這種類型主要用于ULSI工藝。干凈的隧道有兩個(gè)好處:
A.簡(jiǎn)單彈性膨脹;
b、設(shè)備維修時(shí)可在維修區(qū)域內(nèi)輕松完成。
(2)清潔管道:對(duì)產(chǎn)品工藝通過(guò)的自動(dòng)化生產(chǎn)線進(jìn)行封閉、凈化，將潔凈度提升至100級(jí)以上。由于產(chǎn)品、操作人員與產(chǎn)生粉塵的環(huán)境隔離，少量送風(fēng)可獲得良好的清潔度，節(jié)約能源，無(wú)需人工操作的自動(dòng)化生產(chǎn)線更適合使用。適用于醫(yī)藥、食品、半導(dǎo)體等行業(yè)。
(3)部分潔凈室同步安裝:將生產(chǎn)用潔凈室1000-100000至10-1000以上的紊流潔凈室的產(chǎn)品工藝區(qū)域潔凈度提高;清潔操作臺(tái)、清潔操作室、清潔空氣柜等。
清潔操作平臺(tái):1-100級(jí)。
清潔工作了:為了形成一個(gè)小空間在動(dòng)蕩的潔凈室空間與防靜電透明塑料布,獨(dú)立HEPA或ULPA和空調(diào)送風(fēng)單元選擇成為一個(gè)更高級(jí)別的潔凈空間,10 - 1000級(jí),高約2.5米,占地面積約10平方米或更少,四個(gè)柱子和可移動(dòng)的輪子,可以靈活使用。
電池能源凈化工程
眾所周知，粉塵、水分、金屬顆粒等是鋰電池電芯制造的天敵。在鋰電池電芯生產(chǎn)過(guò)程中，過(guò)多的水分進(jìn)入到鋰電池內(nèi)，會(huì)對(duì)鋰電池的性能造成嚴(yán)重的影響，甚至可能引發(fā)爆炸：而空氣中的粉塵，進(jìn)入到鋰電池生產(chǎn)工藝中也可能造成鋰電池在使用過(guò)程中短路的現(xiàn)象；因此，鋰電池電芯制造需要嚴(yán)格“避開”空氣中的水分和粉塵。
鋰電池生產(chǎn)環(huán)境的有效控制，對(duì)鋰電池質(zhì)量的提升有著重要的作用。對(duì)生產(chǎn)車間進(jìn)行的除塵、除濕和凈化成為每一家電池企業(yè)必不可少的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。電池企業(yè)對(duì)生產(chǎn)車間的除塵、除濕和凈化的要求也越來(lái)越高。
事實(shí)上，同樣的廠房面積和產(chǎn)能規(guī)劃，在除塵、除濕和凈化以及節(jié)能效率方面需要請(qǐng)專業(yè)廠家提供解決方案。其中，相同的控制要求，效率越高費(fèi)用則越高，但效果也更明顯。