在精密機械零部件加工過程中，為了提高氣浮導(dǎo)軌的運動性能，可以采用以下三種方法。首先是提高導(dǎo)軌在承載方向上的剛度，導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)設(shè)計上采用閉式導(dǎo)軌，這比單面可提高剛度2倍；減小氣浮間隙；并增大力封閉，氣源需穩(wěn)壓供氣、清潔供氣，減小可能發(fā)生的振蕩因素。

在供氣回路中要設(shè)計載荷補償機構(gòu)及自動調(diào)壓裝置使氣浮間隙變化很小，壓力彈簧和滾輪控制氣浮間隙；或者合理布局氣墊讓其自動平衡調(diào)整，對高精度測量機，氣浮的精度應(yīng)在0.001-0.002mm以內(nèi)。

其次可以提高導(dǎo)軌運動時的阻尼力，氣墊的孔越多阻尼力越大，剛性也越大，如果采用粉末治金多孔材料作為氣墊，用大面積的微孔代替小孔節(jié)流氣墊，阻尼力會更大。在精密機械零部件加工允許的情況下，可以采用氣-液雙相潤滑，由于導(dǎo)軌接觸面上有油膜存在而增加了阻尼力。

還可以采用半氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式，坐標(biāo)機為氣浮導(dǎo)軌和機械導(dǎo)軌相結(jié)合的形式，利用了兩種導(dǎo)軌運動特性的優(yōu)點，不僅提高了抗端動的能力，又保持了氣浮導(dǎo)軌間隙恒定，且增加了導(dǎo)軌運動的阻尼力，從而提高了導(dǎo)軌的運動性能。

通常精密機械零部件加工，機床不適合在污濁和高溫潮濕的環(huán)境中工作，電網(wǎng)供電環(huán)境也有較高的要求，機床供電電壓不應(yīng)劣于±10%，三相應(yīng)平衡穩(wěn)定。過于惡劣的電網(wǎng)必須加裝穩(wěn)壓電源，機床除正常的保持整潔和潤滑以外，還必須用心維護(hù)及其的各個部件。