濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

進(jìn)出潔凈室的管理

⒈進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時(shí)，按如上順序、路線進(jìn)行，不允許將潔凈用品帶至門(mén)廳。

⒉若有吹淋室，按規(guī)定進(jìn)行吹淋后,方可進(jìn)入潔凈室內(nèi)。同時(shí)，嚴(yán)格按照風(fēng)淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù)，不允許正在風(fēng)淋室強(qiáng)行關(guān)閉運(yùn)行風(fēng)機(jī)或電源。一般經(jīng)過(guò)風(fēng)淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。

⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側(cè)不應(yīng)放置物品，回風(fēng)口附近不要堆放物;送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺(tái)或氣流的上游進(jìn)行。

⒋不允許將與生產(chǎn)無(wú)關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。

⒌嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動(dòng)。

⒍進(jìn)入潔凈室前，個(gè)人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

⒎戴帽時(shí)，應(yīng)將頭發(fā)全部遮住，鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

⒏脫潔凈工作服時(shí)，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。

⒐退出潔凈室時(shí)，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進(jìn)入潔凈室內(nèi)，仍需按進(jìn)入潔凈室的規(guī)定順序進(jìn)行。

⒑退出潔凈室時(shí)，可以不需要經(jīng)過(guò)空氣吹淋而進(jìn)入更換區(qū)域。

無(wú)塵車(chē)間風(fēng)管的組對(duì)、連接長(zhǎng)度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的施工現(xiàn)場(chǎng)的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無(wú)塵車(chē)間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無(wú)塵車(chē)間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。