半導體無塵車間凈化工程技術方案及重點難點處理 廖先生13929437027

做任何行業(yè)的無塵車間，首先就需要從該行業(yè)的特征和難點出發(fā)，進行合理設計。半導體是一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。半導體的分類，按照其制造技術可以分為：集成電路組件，分立器件、光電半導體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等。日常生活中，我們比較常見的是集成電路和光電半導體。

半導體組件體積小，對精度要求高，單位通常以微米計算，半導體無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。微塵顆粒沾附在半導體組件上，便很容易造成短路或斷路的嚴重后果，因此要求所有半導體制程設備都必須安置在無塵的密閉空間中。半導體無塵車間建立的目的是為了過濾循環(huán)空氣建議無塵環(huán)境，調節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境，建立正壓環(huán)境避免外氣污染。

無塵車間圖

半導體無塵車間潔凈室與各系統(tǒng)關系如下：

無塵車間參數

1.壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；

2.平均風速： 100級0.3－0.5m/s；

3.噪聲≤65dB（A）；

4.新風補充量是總送風量的10％－30％；

5.照度300LX。

6.溫度：20-26 度， （車間），溫度：12-23度 （用于產品測試）

7.濕度：50-70%RH，（車間），濕度40-85%RH（用于產品測試）

8.凈化等級：100級－30萬級（用于測試），1000-30萬級用于生產。

半導體制造對無塵車間工程環(huán)境的控制有較為嚴格的要求，FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的無塵車間工程設計方案。

ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內容，靜電釋放可能對產品和生產設備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產品的良率。

錫海凈化案例圖

半導體無塵車間設計及運行注意事項：

1.半導體潔凈無塵車間內部要確保粉塵只出不進，因此潔凈無塵車間室內要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。

3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔凈無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃等在潔凈無塵車間內回旋停滯的機會與時間減至極低程度。

4.半導體潔凈無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣 (98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

錫海凈化案例圖

在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設備的安裝、消防報警系統(tǒng)及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。