R116（六氟乙烷，C2F6）可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù)，常見于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對(duì)其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。

名稱：R116、FC-116

中文名稱：六氟乙烷，電子級(jí)氟碳，全氟乙烷，氟里昂116

英文全稱：hexafluoroethane

化學(xué)分子式：CF3CF3、C2F6

分子量:138

標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)：-78℃

臨界溫度:20℃

臨界壓力：3MPa（絕壓）

臨界密度：0.613g/cm3

CAS編號(hào)：76-16-4

常用冷媒：R22，R134a，R410a，R404a，R407c，R12，R417，R507；

制冷級(jí)清洗劑、發(fā)泡劑：R123，R141b，R142b，R245fa；

超低溫冷媒：R13，R14，R23，R508B；

碳?xì)渲评鋭?/span>R290，R600a，R170，R1270，R50，R1150；

稀有制冷劑：R116，R124，R1234yf，R1234ze，R245cb等；

另提供壓縮機(jī)配套冷凍油咨詢和銷售服務(wù)：太陽3/4GS，CP-4214-320，冰熊（有利凱瑪）RL32/68H；以及以下機(jī)組原裝冷凍油：出光、約克、開利、特靈、漢鐘、復(fù)盛、比澤爾等。

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常規(guī)制冷劑一般為中溫或高溫制冷，其溫度不會(huì)低于-50度。針對(duì)特殊要求，

超低溫制冷劑則一般可以達(dá)到-80度或-80度以下。這類制冷劑低溫高壓，技術(shù)復(fù)雜。