成膜型密封固化劑大部分覆蓋在混凝土的表面,只有少量滲入混凝土中。這種密封固化劑分子相對(duì)較大的組分會(huì)限制其滲入混凝土的能力,即使用溶劑稀釋也不能提高它們的滲透能力。這些材料不僅能減小水的滲透,也能抵抗輕度的化學(xué)侵蝕,此外,還能阻止混凝土吸收油脂,也可以減小由于行人、車(chē)輛通行引起的地面起塵、起砂。
任何一種混凝土密封固化劑的使用都應(yīng)保證混凝土必須在干凈并在攝氏16度以上溫度下干燥至少24小時(shí),對(duì)于新澆混凝至少需要經(jīng)過(guò)28天后才能使用密封固化劑,因?yàn)榛炷帘砻娴目紫侗凰畛?,滲透型混凝土密封固化劑很難滲透至這些孔隙。實(shí)際應(yīng)用中也有在新施工混凝土剛完工(有的是在養(yǎng)護(hù)一周左右)即使用混凝土密封固化劑的,這種情況下,混凝土密封固化劑的滲透深度是非常有限的,硬化、密封的往往只是混凝土表面極薄的一層。
拋光粉通常由氧化鈰(VK-CE01)、氧化鋁(VK-L30F)、氧化硅(VK-SP50F)、氧化鐵、氧化鋯(VK-R30F)、氧化鉻等組份組成,不同的材料的硬度不同,在水中的化學(xué)性質(zhì)也不同,因此使用場(chǎng)合各不相同。氧化鋁和氧化鉻的莫氏硬度為9,氧化鈰和氧化鋯為7,氧化鐵更低。氧化鈰與硅酸鹽玻璃的化學(xué)活性較高,硬度也相當(dāng),因此廣泛用于玻璃的拋光。
這兩個(gè)概念主要出半導(dǎo)體加工過(guò)程中,初的半導(dǎo)體基片(襯底片)拋光沿用機(jī)械拋光、例如氧化鎂、氧化鋯拋光等,但是得到的晶片表面損傷是極其嚴(yán)重的。直到60年代末,一種新的拋光技術(shù)——化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了舊的方法。CMP技術(shù)綜合了化學(xué)和機(jī)械拋光的優(yōu)勢(shì):?jiǎn)渭兊幕瘜W(xué)拋光,拋光速率較快,表面光潔度高,損傷低,平整性好,但表面平整度和平行度差,拋光后表面一致性差;單純的機(jī)械拋光表面一致性好,表面平整度高,但表面光潔度差,損傷層深?;瘜W(xué)機(jī)械拋光可以獲得較為平整的表面,又可以得到較高的拋光速率,得到的平整度比其他方法高兩個(gè)數(shù)量級(jí),是能夠?qū)崿F(xiàn)全局平面化的有效方法。