Melec電源維修Melec脈沖發(fā)生器維修Melec脈沖電源維修高壓發(fā)生器
Melec的電源脈沖發(fā)生器可實現(xiàn)多種用途,憑借現(xiàn)有的直流電源配上Melec的電源脈沖發(fā)生器即可實現(xiàn)單極脈沖、雙極脈沖、偏壓以及HiPIMS高能脈沖電源等功能。
NiCr靶使用直流及HiPIMS晶體結(jié)構(gòu)對比
以HiPIMS高能脈沖為例,相較于直流電源,離化率更高,沉積的薄膜附著力更好,從上圖可以看出,直流電源沉積出的為柱狀結(jié)構(gòu),而HiPIMS電源沉積出的為玻璃狀結(jié)構(gòu),膜層更致密。
Melec的電源脈沖發(fā)生器主要分為研發(fā)領(lǐng)域使用的SIPP2000系列以及工業(yè)領(lǐng)域使用的SPIK系列,其中SIPP2000系列分為單極和雙極兩種,SPIK系列分為SPIK1000A、SPIK2000A和SPIK3000A三種。SPIK系列涵蓋的功率范圍可從0.5KW到30KW。
Melec推出的SPIK3000A<span style='color: rgb(34, 34, 34)