檢測(cè)方案:是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室長期運(yùn)行的保證。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的特殊性,除了進(jìn)行嚴(yán)格的設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試外,為確保其性,必須對(duì)其進(jìn)行必要的工程檢測(cè)和嚴(yán)格的驗(yàn)收,達(dá)到要求和使用要求后才可投入運(yùn)行。另外,使用過程中的一些因素,如非專業(yè)的管理和使用,過濾器的更換等,都會(huì)對(duì)實(shí)驗(yàn)室的性產(chǎn)生影響,因此,使用中的定期檢測(cè)與同樣重要。
無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計(jì)和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本,會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中
采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線在高壓靜電的作用下,電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子,負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下,不斷地向陽極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過電場(chǎng)時(shí),粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷,帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用,向陽極(集塵極)運(yùn)動(dòng),到達(dá)陽極后釋放電荷。 缺點(diǎn):可去除飄塵(不能去除毒害氣體),效能比機(jī)械式低、慢,而且易產(chǎn)生臭氧,此機(jī)型被美國市場(chǎng)評(píng)為差凈化器。
潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級(jí),常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
滿足生產(chǎn)工藝對(duì)于環(huán)境的要求。生產(chǎn)過程中需要對(duì)于溫濕度有所控制。企業(yè)利用凈化車間有效降低空氣中的灰塵、、病毒等,并實(shí)現(xiàn)恒溫恒壓恒噪,提供良好的生產(chǎn)環(huán)境。凈化無塵車間標(biāo)準(zhǔn)溫濕度。