萬級凈化車間安裝：

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為則。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在萬級凈化車間安裝外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應(yīng)加強注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。

j.對于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進出萬級凈化車間安裝之各項規(guī)定，且負責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

k.應(yīng)有萬級凈化車間安裝專用工具組，但不得帶出萬級凈化車間安裝外使用。

l.規(guī)劃空間時若能臨近萬級凈化車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。

2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：

a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點。

c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。

d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。

e.各項廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。

f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。

3.自動化與無塵化：

a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當(dāng)昂貴，須詳加評估。

b.建立管制項目如進入萬級凈化車間安裝人員的資格限定，萬級凈化車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，萬級凈化車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述，此處不再說明。

萬級凈化車間安裝之維護管理方面：

1.建筑物之維護管理：

a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。

b.地板之清掃管理及損壞更新。

c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。

d.窗戶及門之保養(yǎng)等。

2.環(huán)境測定與管理：

萬級凈化車間安裝內(nèi)之運轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測，以確實掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。

3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護管理：

a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗，若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。

萬級凈化車間安裝停止運轉(zhuǎn)再開機要點管理：啟動后立即進行微塵粒子之測試，須萬級凈化車間安

裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。