高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：級、級、級、級和級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。

高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：

1.微電子工藝對水質(zhì)的要求；

2.制水工藝的水平；

3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。