壓縮、深冷至液化,利用氧、氮組分的沸點不同,再通過精餾完成氧-氮混合物分離,低沸點組分氮與高沸點組分氧在精餾塔的塔盤進行質、熱交換,氮不斷地從液相中蒸發(fā)出去,同時使氧不斷地從氣相冷凝到液相,終實現氧、氮分離。雙泵內壓縮流程技術原理采用膨脹空氣進下塔的模式。 空氣中的主要組份是氮和氧，通過選擇對氮和氧具有不同吸附選擇性的吸附劑，設計適當的工藝過程，使氮和氧分離制得氧氣。液氧從主冷抽出,由液氧泵壓縮至用戶所需的壓力,經主換熱器復熱后進入用戶管網。在主換熱器中,正流壓縮空氣與被加壓的液氧進行熱交換,液氧在汽化、復熱的同時,這股高壓空氣被冷卻、液化。正流高壓液化空氣和經增壓膨脹機膨脹降溫后的空氣一同進入下塔,參與精餾。簡單地說,內壓縮流程是用液氧泵加上空氣增壓機取代了外壓縮流程的氧壓機。

行業(yè)分法：偏重使用的參數：冶金型：化工型

代分法：代：鋁帶盤蓄冷器的高低壓流程；第二代：鋁帶盤蓄冷器或石頭蓄冷器的全低壓流程；第三代：帶產品氣盤管的石頭蓄冷器的全低壓流程；第四代：切換板式主換熱器的全低壓流程；第五代：分子篩吸附、增壓透平膨脹機、DCS控制的全低壓流程；第六代：規(guī)整填料上塔、全精餾制氬的全低壓流程；第七代：內壓縮流程。

而由于馬氏體的終轉變點非常低, 在超低溫時由于組織體積收縮, 晶格常數縮細而加強碳原子析出的驅動力, 于是馬氏體的基體析出大量超微細碳化物,在同一時間，各個吸附床則分別處于不同的操作步驟，在計算機的控制下定時切換，使幾個吸附床協(xié)同操作，在時間步伐上則相互錯開，使變壓吸附裝置能夠平穩(wěn)運行，連續(xù)獲得產品氣。 根據解吸方法的不同對于實際的分離過程，還必須考慮空氣中的其它微量組份。二氧化碳和水份在通常的吸附劑上的吸附能力一般要比氮和氧都大得多，可在吸附床內填加合適的吸附劑（或利用制氧吸附劑自身）使其被吸附清除。制氧裝置所需的吸附塔數目取決于制氧規(guī)模、吸附劑性能和工藝設計思路，多塔操作時運行平穩(wěn)性相對更好一些，但設備投資較高。目前的趨勢是：使用制氧吸附劑、盡量減少吸附塔數量并采用短操作周期，以提高裝置的效率并盡可能節(jié)約投資。