空分設備就是以空氣為原料，通過壓縮循環(huán)深度冷凍的方法把空氣變成液態(tài)，再經過精餾而從液態(tài)空氣中逐步分離生產出氧氣、氮氣及氬氣等惰性氣體的設備。 我國空分設備的生產規(guī)模已經從早期只能生產20m3/h（氧）的制氧機，發(fā)展到現(xiàn)在具有生產的特大型空分設備的能力。

V－101閥為手動蝶閥，鼓風機的排氣量隨季節(jié)而變化。為了保證供給吸附器的空氣量，可以通過V－101來調節(jié)。調節(jié)V－101閥以穩(wěn)定吸附器吸附壓力，保證吸附器壓力穩(wěn)定在一個設定值。其開、關由PLC控制。真空泵處于停機狀態(tài)時，KV－201開啟，正常運行時，KV－201關閉。V－201為手動蝶閥，用于調節(jié)真空泵抽氣量，V－201的調節(jié)以穩(wěn)定吸附器的解吸壓力力穩(wěn)定。

泵口壓力由壓力變送器測定并以電信號進入PLC，在工控機顯示器上監(jiān)視作壓力為～53KPa。當60KPa時，由PLC聯(lián)鎖氧壓機、真空泵、PLC停機。（2）泵軸承溫度測定、聯(lián)鎖同鼓風機。（3）真空泵振動速度測定、聯(lián)鎖同鼓風機。

濕式羅茨真空泵運行中，應在泵口注入密封水，注入水量通過水表來控制，不同型號真空泵密封水水量是不同的。密封水水量過大，電機負荷增大。密封水水量過小，真空度低，泵排氣溫度升高。密封水水質一般要求軟水，總硬度不超過20～30德國度。如果水質硬度大，長時間運行后會在葉輪上結垢，影響正常使用。吸附切換系統(tǒng)由若干臺吸附器和切換閥、調節(jié)閥組成。

吸附器內裝入吸附劑。吸附器上部裝有壓力溫度測定，并通過PLC在工控機顯示器顯示。

所有切換閥均采用氣動切換蝶閥。閥門的動作是由PLC控制，各閥門根據設定的控制程序進行動作。裝置停機時，切換閥處于關閉狀態(tài)。

比如：模具鋼、高速鋼、硬質合金在深冷處理后強度、韌性、硬度、耐磨性、尺寸穩(wěn)定性都有所提高，表現(xiàn)為綜合性能的提高。國內對深冷技術研究貢獻的應該是中科院理化所，從設備、機理、工藝等多個方面對深冷技術進行研究和推廣，目前深冷在刀具、模具、等行業(yè)的廣泛開展與中科院理化所有著密不可分的關系。