空氣冷卻器:是用來降低進入空氣干燥凈化器和空分塔前壓縮空氣的溫度，避免進塔溫度大幅度波動,并可析出壓縮空氣中的大部分水分。 空分設備的發(fā)展歷程,是工藝流程和主要設備結(jié)構(gòu)不斷革新優(yōu)化的過程, 空分塔內(nèi):主要包括有主換熱器、液化器、精餾塔、冷凝蒸發(fā)器等。 空氣過濾器:為減少空氣壓縮機內(nèi)部機械運動表面的磨損， 保證空氣質(zhì)量， 空氣在進入空氣壓縮機之前，必須先經(jīng)過空氣過濾器以清除其中所含的灰塵和其他雜質(zhì)。通常采用氮水冷卻器（由水冷卻塔和空氣冷卻塔組成：水冷塔是用空分塔內(nèi)出來的廢氣冷卻循環(huán)水，空冷塔是用水冷塔出來的循環(huán)水冷卻空氣）、氟里昂空冷器。

空氣干燥凈化器:壓縮空氣經(jīng)空氣冷卻器后仍含有一定的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氫化合物。被冷凍的水分和二氧化碳沉積在空分塔內(nèi)會堵塞通道、管道和閥門，乙炔積聚在液氧內(nèi)有爆炸的危險，灰塵會磨損運轉(zhuǎn)機械。為了保證空分裝置的長期運行，必須設置專門的凈化設備，清除這些雜質(zhì)?？諝鈨艋某Ｓ梅椒ㄊ俏椒ê蛢鼋Y(jié)法。目前國內(nèi)在中小型制氮裝置中廣泛采用分子篩吸附法。

制氧設備包括空氣壓縮機、空氣凈化組件、空氣儲罐組件、氧氮分離組件、氧氣儲罐組件、氧氣凈化檢測系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、備用氣源系統(tǒng)（用戶自備）等七大部分組成。吸附壓力高于大氣壓，一般在30～100Kpa，采用真空泵解吸。VPSA法是目前采用多的一種制氧工藝，制氧電耗一般在0.32～0.5KWh/m3,裝置規(guī)模300～10000 m3/h。（鋰篩，CECA G5000 ,日本東漕）均壓結(jié)束后，大氣進氣充壓到接近大氣壓，鼓風機開始進氣時空塔流速介于兩床和三

目前工業(yè)空氣分離方法主要有:傳統(tǒng)的低溫深冷技術分離工藝、新興的非低溫分離工藝膜分離法和變壓吸附法。非低溫分離工藝操作簡單,成本低,是工業(yè)應用的主流。低溫空氣分離裝置近十幾年內(nèi)在技術上取得了長足進步和發(fā)展,氧、氬提取率進一步提高,產(chǎn)品單位能耗進一步降低,系統(tǒng)可靠性也更有保證。深冷空分制氮以空氣為原料，經(jīng)過壓縮、凈化、用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點不同，通過精餾，使它們分離來獲得氮氣。