空氣經(jīng)空壓機壓縮，進入冷凍干燥機及多級過濾器去除絕大部分的水份、微粒粉塵等雜質(zhì)，然后進入空氣儲罐緩沖、穩(wěn)壓，通過切換閥進入已經(jīng)再生完畢處于工作狀態(tài)的吸附器。在吸附器內(nèi)，氮氣、二氧化碳等氣體被分子篩吸附，氧氣從吸附器頂部富積進入氧氣緩沖罐，再經(jīng)粉塵過濾器、調(diào)壓閥及流量計進入氧氣儲罐，后經(jīng)除異味過濾器、調(diào)壓閥、流量計及過濾器過濾即獲得合格的醫(yī)用氧氣。為獲得連續(xù)穩(wěn)定的產(chǎn)品氧氣，瑞氣設(shè)置兩只吸附器，交替產(chǎn)氧，一只吸附器產(chǎn)出氧氣時，另一只吸附器處于再生狀態(tài)，再生排出的其他組分氣體通過消音器消音排到地溝或室外。

目前空氣壓縮機進氣多采用粗效過濾器或中效過濾器。

空氣壓縮機:按工作原理，空氣壓縮機可分為容積式和速度式兩大類。目前空氣壓縮機多采用往復(fù)活塞式空氣壓縮機、離心式空氣壓縮機和螺桿式空氣壓縮機。

空氣冷卻器:是用來降低進入空氣干燥凈化器和空分塔前壓縮空氣的溫度，避免進塔溫度大幅度波動,并可析出壓縮空氣中的大部分水分。 空分設(shè)備的發(fā)展歷程,是工藝流程和主要設(shè)備結(jié)構(gòu)不斷革新優(yōu)化的過程, 空分塔內(nèi):主要包括有主換熱器、液化器、精餾塔、冷凝蒸發(fā)器等。 空氣過濾器:為減少空氣壓縮機內(nèi)部機械運動表面的磨損， 保證空氣質(zhì)量， 空氣在進入空氣壓縮機之前，必須先經(jīng)過空氣過濾器以清除其中所含的灰塵和其他雜質(zhì)。通常采用氮水冷卻器（由水冷卻塔和空氣冷卻塔組成：水冷塔是用空分塔內(nèi)出來的廢氣冷卻循環(huán)水，空冷塔是用水冷塔出來的循環(huán)水冷卻空氣）、氟里昂空冷器。

空氣干燥凈化器:壓縮空氣經(jīng)空氣冷卻器后仍含有一定的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氫化合物。被冷凍的水分和二氧化碳沉積在空分塔內(nèi)會堵塞通道、管道和閥門，乙炔積聚在液氧內(nèi)有爆炸的危險，灰塵會磨損運轉(zhuǎn)機械。為了保證空分裝置的長期運行，必須設(shè)置專門的凈化設(shè)備，清除這些雜質(zhì)。空氣凈化的常用方法是吸附法和凍結(jié)法。目前國內(nèi)在中小型制氮裝置中廣泛采用分子篩吸附法。