全自動(dòng)光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對(duì)準(zhǔn)是為了保證橢偏儀測(cè)量的可重復(fù)性和性。已獲得專利的自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進(jìn)行地貌圖測(cè)量，包括翹曲晶片。

全自動(dòng)光譜橢偏儀 - 產(chǎn)品特點(diǎn)

全自動(dòng)樣品校準(zhǔn)

高測(cè)量速率 < 8秒

消除了全波段范圍內(nèi)的盲點(diǎn)

可測(cè)量透明和吸收基底

高測(cè)量精度

具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能

友好的軟件界面，強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析功能

具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能

光譜橢偏儀 - 技術(shù)指標(biāo)

光源：氙燈

光斑直徑：1-3mm

入射角范圍：20°到90°自動(dòng)控制

波長(zhǎng)范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°

波長(zhǎng)精度：1nm

測(cè)量時(shí)間: < 8s （取決于測(cè)量模式和粗糙度）

入射角度精度：0.01

光譜橢偏儀 - 可選配

CCD線陣列探測(cè)元件：200-850nm，350-1000nm

樣品顯微鏡

高穩(wěn)定性消色差補(bǔ)償器

透射測(cè)量架

XY移動(dòng)樣品臺(tái)

光譜橢偏儀 - 典型客戶

美國(guó)，歐洲，亞洲及國(guó)內(nèi)太陽能及半導(dǎo)體客戶。