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國產5nm蝕刻機下半年交付臺積電美國工廠？ 中關村在線     2022-08-03 13:41    

近日有消息稱，中微半導體設備（上海）股份有限公司制造的5nm蝕刻機將于今年下半年交付臺積電美國工廠，這可以說是國產蝕刻機的一大突破。

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